中国量产自研DUV光刻机并交付多家芯片厂
据路透社等媒体报道，中国已开始量产自研浸没式 DUV 光刻机，并预计今年交付给中芯国际、长江存储和长鑫存储等多家芯片厂。相关设备由上海微电子等主导推进，旨在替代 ASML 等厂商的同类产品，助力 7nm 等先进制程生产。此举被视为中国打破半导体设备长期垄断、强化本土供应链的关键信号。
2026-07-28 ~ 2026-07-28 · 4 条相关
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