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国产DUV光刻机量产传闻震动业界
7月底，外媒接连爆料中国自研浸没式DUV光刻机已进入量产并交付多家国内晶圆厂，且中芯国际正尝试借此试产7nm芯片。相关传闻迅速发酵并引发资本市场波动。
2026-07-27 ~ 2026-07-28 · 3 集 · 10 条
第 1 集 · 中国量产 DUV 光刻机传闻致 ASML 股价大跌(2026-07-27,3 条)
据 The Information 报道，一家具有上海国资背景的企业已开始量产国产浸没式 DUV 光刻机，计划今年生产 5 台，并在 2027 年前逐步扩产。这一传闻迅速引发芯片股震荡，导致光刻机巨头 ASML 股价一度大跌 6.5%。尽管供应链方面认为市场的恐慌情绪有些过度，但该消息依然凸显了业界对半导体供应链格局变动的极度敏感。
- 有帖称 DUV 量产启动，ASML 当日下跌 4.08% — zephyr_z9 · 2026-07-27
- 国产浸没式 DUV 量产传闻引发 ASML 等芯片股下跌 — AlphaguyTrading · 2026-07-27
- 中国量产 DUV 光刻机传闻致 ASML 股价大跌，供应链称恐慌过度 — IanAndrewsDC · 2026-07-28
第 2 集 · 中芯国际测试国产DUV光刻机试产7nm芯片(2026-07-27,3 条)
据《金融时报》等媒体报道，中芯国际正在测试国产28nm DUV光刻机，并尝试结合多重曝光工艺生产7nm芯片。同时，一家上海国资背景企业也已开始制造浸没式DUV光刻机。报道指出，此类设备能否真正实现量产不仅取决于获取渠道，更受制于设备的具体规格与良率表现。
- FT：SMIC 正测试国产 28nm DUV 光刻机做 7nm 芯片 — teortaxesTex · 2026-07-27
- FT 新摘录称，DUV 设备能否量产看规格不看价格 — teortaxesTex · 2026-07-27
- 报道称上海国资背景企业已开始制造国产浸没式 DUV 光刻机 — teortaxesTex · 2026-07-28
第 3 集 · 中国量产自研DUV光刻机并交付多家芯片厂(2026-07-28,4 条)
据路透社等媒体报道，中国已开始量产自研浸没式 DUV 光刻机，并预计今年交付给中芯国际、长江存储和长鑫存储等多家芯片厂。相关设备由上海微电子等主导推进，旨在替代 ASML 等厂商的同类产品，助力 7nm 等先进制程生产。此举被视为中国打破半导体设备长期垄断、强化本土供应链的关键信号。
- 一则短帖称中国正在推进 DUV，打破垄断 — AIFlow_ML · 2026-07-28
- 报道称中国已开始量产国产 DUV 芯片制造工具 — AIFlow_ML · 2026-07-28
- 中国自研浸没式 DUV 设备开始走向 7nm 生产 — deedydas · 2026-07-28
- 路透称中国国产浸没式 DUV 光刻机已开始向芯片厂交付 — teortaxesTex · 2026-07-28