imec 光遗传神经探针在 130nm CMOS 上集成双波长光路与 960 电极
jwt0625 · x · 2026-11-04
作者对比了 imec 的 Neuropixels Opto 神经探针与光互连/CPO 工艺的相似性，感叹光遗传学界的后端工艺水平不输光互连团队。
关键信息：
- 探针在 130nm CMOS 上直接延续后端工艺（无需 hybrid bonding），集成光开关树（OCS）与光栅耦合器，支持 450nm/638nm 双波长
- 单 shank 长 10mm，含 960 个记录电极（间距 20μm）与 14 个双色发射位点（间距 100μm），并单片集成 384 通道读出 IC
- 对比表显示此前密歇根、哥伦比亚、Berkeley 等团队的光+电神经探针均无单片集成读出，imec 2023 方案在电极数与集成度上大幅领先
- 相关论文：Lakunina 2026《Neuropixels Opto》（Nature Methods）、Neutens 2023 双波长探针工艺论文
所属事件:imec 在 130nm CMOS 神经探针上直接集成双波长光子器件(2 条相关)→
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