imec 在 130nm CMOS 神经探针上直接集成双波长光子器件

imec 推出的 Neuropixels Opto 光遗传神经探针在 130nm CMOS 之上直接延续后端工艺，集成了 OCS 光开关与光栅耦合器等光子器件，无需混合键合，支持 450nm 与 638nm 双波长，并配备 960 个电极。有博主指出其工艺与光互连/CPO 领域相似，感叹光遗传学界在后端工艺上的水平不输光互连团队。

2026-11-04 ~ 2026-11-04 · 2 条相关

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