imec 神经探针直接在 130nm CMOS 上做后端光子集成
jwt0625 · x · 2026-11-04
作者分享 imec 的光遗传神经探针:在 130nm CMOS 之上直接延续后端工艺集成 OCS 光开关与光栅耦合器,无需混合键合,支持 450nm 与 638nm 双波长。剖面图显示 SiN 波导、光阻挡层、M1-M6 金属层与 CMOS 的集成结构,探针柄含 14 个发光位点与热光开关矩阵。
作者打趣指出该工艺进度超过许多光互连团队,且一个有趣的反向需求与 CPO 相同:为避免加热组织,激光/光源也被推向外部放置。
所属事件:imec 在 130nm CMOS 神经探针上直接集成双波长光子器件(2 条相关)→
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