国产 EUV 光源首次公开亮相工博会引关注

Langdao Silex 在 2026 中国工博会上展示了 Flint-LPP EUV 光源，其中 FlintNano 已投产，FlintMicro 仍在验证中，同台还展示了最高 20（相关参数未完整披露）等产品。这是国产 EUV 光源的首次公开亮相，外界将供应链的集中展示解读为国产 EUV 技术临近突破的信号，引发广泛关注。

2026-10-15 ~ 2026-10-15 · 2 条相关

• 国产 EUV 光源亮相工博会,供应链展示被读作临近信号 — teortaxesTex · 2026-10-15

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