国产 EUV 光源亮相工博会,供应链展示被读作临近信号
teortaxesTex · x · 2026-10-15
Langdao Silex(朗铎石英?)在 2026 工博会展示 Flint-LPP EUV 光源:FlintNano 已投产,FlintMicro 仍在验证;同台还有最高 20 kW 的 Glow 系列 MOPA 激光器。转发者指出 20 kW 并不足以驱动 EUV 光刻,且 Langdao 并非 EUV 光源的主要供应商、连备选都算不上,所以才需要展示刷存在感。原贴认为关键不在商业化程度或与 ASML 最新机台的功率/转换效率对比,而在于供应链企业敢于公开展品,加上华为本周也谈及中国 EUV 研发中——这类动作通常意味着距离真正落地已经不远。
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