国产 EUV 光源首次公开亮相,供应链或在暗示临近突破

pstAsiatech · x · 2026-10-15

Langdao Silex Tech 在 2026 中国工博会上展示了 Flint-LPP EUV 光源,其中 FlintNano 已投产,FlintMicro 仍在验证中;公司同时展出功率最高 20 kW 的 Glow 系列 MOPA 激光器,作者认为已达商用光刻机门槛。作者观点:关键不在与 ASML 最新机型的商业化差距或功率/转换效率对比,而在于供应链敢于公开展示产品——叠加本周华为高管谈及 EUV 在华研发,种种迹象表明国产 EUV 正在临近量产节点。

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