NIST 团队在蓝宝石上长出 2 微米厚无裂纹氮化硅,宽波段光子学新平台
jwt0625 · x · 2026-10-15
arXiv 论文 2610.15754 由 Zhaohui Ma 等 8 位作者(NIST 等)发表,研究在蓝宝石衬底上直接生长低残余应力的化学计量氮化硅,用于宽波段光子学:
- 背景:氧化硅上的 LPCVD 氮化硅是主流宽波段光子学平台,但约 1000 MPa 的残余拉伸应力使膜厚超过 400 nm 时易开裂,是重大工艺难题。
- 方法:对蓝宝石上的 LPCVD 氮化硅进行系统表征——薄膜应力分析、椭偏仪与棱镜耦合测折射率和损耗、以及宽波长范围的扫频光谱器件测量。
- 结果:实现无裂纹、厚达 2 μm 的氮化硅,应力仅 200 MPa;器件传播损耗在 780 nm 处 0.35 dB/cm、1064 nm 处 0.37 dB/cm、1630 nm 处 0.25 dB/cm;棱镜耦合显示低至 500 nm 波长时薄膜损耗低于 1 dB/cm。
所属事件:NIST 在蓝宝石上长出无裂纹氮化硅薄膜(2 条相关)→
「研究」频道最新
- AI 揭穿阴谋论研究风波落幕：Science 撤回关注声明，结论不变 — DG_Rand · 2026-10-23
- Embodied First Exam：一行代码在 44 台机器人上考你的 Agent — ManlingLi_ · 2026-10-23
- Anima Anandkumar 演讲：AI 气象模型胜超算，但不会取代科学家 — AnimaAnandkumar · 2026-10-23
- GLM-5.3-Flash 实现 1M token 上下文训练，较基线提升 64 倍 — AndrewLBeam · 2026-10-23
- 作者用布尔逻辑造 LM:前向传播单线程仅需几微秒但训练极慢 — cephaloform · 2026-10-23
- AdaDex:几秒人手视频即可教灵巧手学会抓取、抛接等可泛化技能 — mangahomanga · 2026-10-23