硅光芯片晶圆照片引热议:InGaAsP 异构集成相位调制器如何划片

jwt0625 · x · 2026-09-23

博主分享了一片划片前非常干净的光子芯片晶圆照片,并指出这些是采用 InGaAsP 异构集成在硅上的低功耗相位调制器。作者同时对工艺提出疑问:这类晶圆是怎么划片的,是否要划两次?

短帖但给出具体技术信息(材料体系、器件类型),并抛出真实的制造工艺问题。

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