中国首款国产前道光刻机投产，性能对标 90 年代 ASML

pstAsiatech · x · 2026-08-11

据半导体行业观察者分析，中国首款进入量产的国产前道光刻机（AST6200）已正式投产。虽然该设备的入局打破了 ASML、Canon 和 Nikon 等老牌厂商的长期垄断，但其实际规格仅介于 ASML 上世纪 90 年代的 275D 与 100D 之间。

目前该国产设备主要将用于替代 ASML 翻新机市场。相比之下，ASML 最新的 i-line 设备（如 400M）已针对现代 300mm 晶圆厂进行了大幅生产力升级，两者在性能上仍存在显著的代际差距。