ASML EUV 光刻机:20G 加速度下保持 5 个原子精度
ZeroStateReflex · x · 2026-07-26
推文分享了 ASML 的极紫外(EUV)光刻机在工程上的极致表现:其内部反射镜在以 20G 加速度 剧烈运动的同时,依然能维持相当于 5 个硅原子 宽度的定位精度。作者进一步探讨了究竟是何种致动器与工程技术,能够在如此极端的物理动态下实现这种超高精度。
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