UC Berkeley发布零改动流片兼容硅光MEMS光开关

加州大学伯克利分校团队提出了一种极具创意的硅光子 MEMS 光开关。该设计的核心创新在于利用标准晶圆代工流程中的 BEOL（后端工艺）金属层进行驱动，无需对现有产线做任何修改即可实现零改动流片兼容。不过该工艺目前也存在刻蚀时间较长等技术挑战，需要进一步优化。

2026-08-08 ~ 2026-08-08 · 2 条相关