3.5 亿欧元的 EUV 光刻机怎么运？40 个集装箱、3 架 747

Yamapama · x · 2026-10-31

被转发的科普帖介绍 ASML 最新一代 High-NA EUV 光刻机：单台售价 3.5 亿欧元，由约十万个零件组成、重 150-180 吨，无法整机运输。从荷兰发往台积电或英特尔时，需拆解装入 40 个恒温恒湿充氮集装箱，动用 20 辆气垫卡车和 3-4 架波音 747 全货机。最怕微米级震动——蔡司反射镜平整度极高（等比放大到德国国土大小起伏不超过 1 毫米），运输中一旦加速度超红线，落地后需 200 名工程师花 3-6 个月重新调校光路。