半导体圈热议:高数值孔径 EUV 对台积电 18A/16A 节点是否划算

pstAsiatech · x · 2026-10-24

引用帖讨论 ASML 高数值孔径 EUV 光刻机(EXE:5200)的成本效益问题:有观点认为 high-NA EUV 对 18A 工艺配合 BPS(背面供电)是划算的。发帖人提出质疑:在 16/14A 节点各家都会用背面供电,而台积电方面表示至少需要 3 项主要设备升级才会采用 high-NA EUV——1 项明确,另 2 项从时间线推断。

这是围绕先进制程设备路线图与成本的实质性产业讨论,涉及 ASML、台积电、Intel 的技术博弈。