太赫兹脉冲反射法定位先进封装失效,附论文与设备资料

jwt0625 · x · 2026-09-13

作者补充介绍一种先进封装失效定位方法 EOTPR（电光太赫兹脉冲反射法）：名称源于早期依赖电光效应采样，如今更常用光电导半导体（PCS）。原理是用一束飞秒光脉冲产生 THz 脉冲，再扫描另一束脉冲的延迟来采样反射信号；延迟可物理控制，飞秒激光极低的抖动带来时域分辨率。

附参考资料：Chen 2025 论文《Open Failure Localization of Advanced Packaging by Terahertz Time Domain Reflectometer》，以及 Teraview 的半导体封装检测页面。