离子束+FIB 刻出 Nd:YAG 螺旋光波导，直径仅约 100 微米

jwt0625 · x · 2026-09-10

作者展示了一种用相当「邪门」的工艺制作的 Nd:YAG（掺钕钇铝石榴石）螺旋光波导，直径约 100 微米。工艺流程：先用碳离子束注入在 Nd:YAG 内形成富碳缺陷层，再用 FIB（聚焦离子束）把波导形状刻到缺陷层，最后用磷酸湿法刻蚀并剥离出波导。

针对「为何不用 smart-cut 直接做薄膜」的疑问，作者解释：今年早些时候的 smart-cut 薄膜 Nd:YAG 在退火时会因热膨胀系数失配而在剥层过程中开裂，因此选择了上述替代路线。