光刻机晶圆台为何不用齿轮:气浮与磁悬浮实现纳米定位
bookwormengr · x · 2026-09-05
一条光刻机技术科普线程的第 3 部分,讲晶圆台如何在纳米尺度下运动:机械齿轮摩擦过大,不适用于纳米级精度。
替代方案是让晶圆台悬浮在无摩擦的空气轴承(Air Bearings)或磁悬浮(Maglev)之上,再用激光干涉仪实时追踪并调整位置,精度可达纳米的分数级。
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