蔡司造出极致平滑镜片：EUV 光刻机精度的硬核科普
DynamicWebPaige · x · 2026-08-11
推文引用了关于蔡司为 ASML EUV 光刻机制造反射镜的硬核技术细节：
- 极致平滑：这些镜片是史上最平滑的人造物体，杂质几乎不可察觉。如果将镜片放大到德国国土面积，其最大的表面不规则起伏也仅有 0.1 毫米。
- 精准控制：为了精确引导 EUV 光，镜片必须保持绝对静止，其机械与传感器的精度足以将激光瞄准并击中月球上的高尔夫球。
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