自由电子激光或成下一代 EUV 技术，粒子加速器赋能芯片制造

beffjezos · x · 2026-08-07

推文探讨了使用自由电子激光（FEL）作为下一代极紫外（EUV）光刻光源的潜力。该技术原理是通过粒子加速器发射高速电子穿过磁铁，产生超亮且纯净的 EUV 光。

相比目前基于锡等离子体的光源，FEL 能提供更多的光子并减少杂质。在 Terafab 等超大规模晶圆厂中，它可作为中央“光源设施”同时为多台扫描仪供电。尽管这并非短期就能落地的技术，但被视为芯片制造大幅扩产后的关键升级路径。