12微米埋氧层降低射频损耗

jwt0625 · x · 2026-07-10

帖子提到一种采用 12 微米埋氧层（buried oxide）的方案，用来降低来自硅衬底的 RF 损耗和 RF 群折射率。作者还提到晶圆来自 nanoLN。