分析中芯国际DUV工艺缺陷密度
teortaxesTex · x · 2026-07-08
推文讨论了后期DUV光刻工艺的缺陷密度。作者指出，台积电在2019年曾宣称其缺陷密度为0.09，而基于中芯国际过去6年来使用该工艺制造麒麟芯片的经验，作者在计算中保守地采用了0.15的数值。
所属事件:华为升腾芯片产能测算与中芯国际工艺讨论(4 条相关)→
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